YS/T 26-2016
硅片边缘轮廓检验方法

Silicon wafer edge contour inspection method

YST26-2016, YS26-2016

YS/T 26-2016 发布历史

YS/T 26-2016由工业和信息化部 发布于 2016-07-11，并于 2017-01-01 实施。

YS/T 26-2016 在中国标准分类中归属于: H21 金属物理性能试验方法，在国际标准分类中归属于: 77.040 金属材料试验。

YS/T 26-2016的历代版本如下：

• 2016年 YS/T 26-2016 硅片边缘轮廓检验方法
• 1992年 YS/T 26-1992 硅片边缘轮廓检验方法

标准号

YS/T 26-2016

别名

YST26-2016
YS26-2016

发布

2016年

发布单位

工业和信息化部

当前最新

YS/T 26-2016

 

 

被代替标准

YS/T 26-1992

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