T/IAWBS 005-2018
6 英寸碳化硅单晶抛光片
6 inch polished monocrystalline silicon carbide wafers
- 标准号
- T/IAWBS 005-2018
- 发布
- 2018年
- 发布单位
- 中国团体标准
- 当前最新
- T/IAWBS 005-2018
- 本标准适用于6 英寸4H 及6H 碳化硅单晶研磨片经单面或双面抛光后制备的碳化硅抛光片。规定了6 英寸4H 及6H 碳化硅单晶抛光片的必要的相关性术语、产品分类、技术要求、试验方法、检测规则以及标志、包装、运输、贮存等。本标准规定了碳化硅抛光片的晶向为碳化硅抛光片表面取向的正交晶向偏离为：a)&nb...
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