KS D 0260-1989(1994)
具有四点探针的单晶硅片的电阻率测试方法

TESTING METHODS OF RESISTIVITY FOR SINGLE CRYSTAL SILICON WAFERS WITH FOUR-POINT PROBE


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标准号
KS D 0260-1989(1994)
发布日期
1989年12月13日
实施日期
废止日期
国际标准分类号
29.045
发布单位
KR-KS

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