KS D 0260-1989(1994)
具有四点探针的单晶硅片的电阻率测试方法

TESTING METHODS OF RESISTIVITY FOR SINGLE CRYSTAL SILICON WAFERS WITH FOUR-POINT PROBE

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标准号: KS D 0260-1989(1994)
发布: 1989年
发布单位: 韩国科技标准局
替代标准: KS D 0260-1999
当前最新: KS D 0260-1999

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