微机电系统（MEMS）是融合了微电子、机械、材料领域技术发展的产物，它使用与集成电路加工技术相类似的制造工艺，制备出各种性能各异、价格低廉、微型化的传感器、执行器和微系统。MEMS技术的发展开辟了一个全新的技术领域和产业，它们具有很多传统器件无法比拟的优点，在国防安全、航空航天、信息工程、医疗卫生和生物工程等领域有着广阔的应用潜力。 ...
要了解微流控技术，首先要知道MEMS技术。MEMS，Mirco-Electro-Mechanical System，微机电系统，也叫微电子机械系统、微系统、微机械等，理念源自于将现实生活在广泛运用的大型设备，通过各种微型技术（半导体技术为主）进行微缩化，但功能不变甚至更加优良。主要由传感器、动作控制器（执行器）和微能源三大部分组成。...
伴随着微机电加工系统（MEMS ）技术的发展，电子计算机已由当年的“庞然大物“ 演变成由一个个微小的电路集成芯片组成的便携系统，甚至是一部微型的智能手机。 ...
在科技部和中国科学院的大力支持下，半导体研究所集成技术工程研究中心相关课题组多年来致力于射频谐振器件以及相关的测试表征系统的研制工作，在谐振器构型、微纳加工工艺、器件测试方法研究和测试系统组建等方面取得了系列科研进展。 微机电系统(MEMS)是指利用微纳加工技术制作的、同时具有机械组元和电子组元的小型化器件或系统。...
Copyright ©2007-2022 ANTPEDIA, All Rights Reserved
京ICP备07018254号 京公网安备1101085018 电信与信息服务业务经营许可证：京ICP证110310号