ASTM F84-02
ASTM F84-02


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ASTM F84-02

标准号
ASTM F84-02
发布
1970年
发布单位
/
当前最新
ASTM F84-02
 
 
引用标准
ASTM C28 ASTM C31/C31M ASTM C35 ASTM D5127 ASTM E1 ASTM E177 ASTM F2074 ASTM F42 ASTM F43
1.1 本测试方法2涵盖使用串联四点探针测量硅片的电阻率。硅晶体的电阻率是重要的材料验收要求。该测试方法描述了一种能够对硅晶片的室温电阻率进行实验室间比较的程序。预期的精度取决于晶片的电阻率和晶片的均匀性。已进行循环测试,以确定室温 (23°C) 电阻率在 0.0008 至 2000 V·cm 之间的 p 型晶圆和室温 (23°C) n 型晶圆上的预期测量精...

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