它比较适合于定性测量,不能精确测定微小结构在纵向的尺寸。此外,它的电子束还会使某些对电子束敏感的样品产生辐射损伤。 ⑤扫描探针显微镜: 扫描探针显微镜是借助于探测样品与探针之间存在的各种相互作用所表现出的各种不同特性来实现测量的。依据这些特性,目前已开发出各种各样的扫描探针显微镜SPM。...
它比较适合于定性测量,不能精确测定微小结构在纵向的尺寸。此外,它的电子束还会使某些对电子束敏感的样品产生辐射损伤。 ⑤扫描探针显微镜: 扫描探针显微镜是借助于探测样品与探针之间存在的各种相互作用所表现出的各种不同特性来实现测量的。依据这些特性,目前已开发出各种各样的扫描探针显微镜SPM。...
经敲击式后探针的尖端损耗为两种不同操作模式下得到的照片04原子力显微镜测量架构AFM 的探针一般由悬臂梁及针尖所组成,主要原理是由针尖与试片间的原子作用力,使悬臂梁产生微细位移,以测得表面结构形状,其中最常用的距离控制方式为光束偏折技术。AFM 的主要结构可分为探针、偏移量侦测器、扫描仪、回馈电路及计算机控制系统五大部分。...
测量时传感部件位置固定,使用商品型测量悬片,针尖半径约为10nm。被测物体置于与扫描部件三维弹性位移系统连接的工作台上,弹性位移系统的三个位移方向分别由三个压电陶瓷驱动,压电陶瓷的伸缩量由连接在调节回路中的电容位移传感器调控。由于使用了弹性位移系统,使得三个移动轴的移动基本上相互独立并能得到接近正交的移动。...
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