T/ZGM 011-2023
半导体行业超纯水制备终端用超滤膜组件产品认证技术要求
Technical requirements for product certification of ultrafiltration membrane module for ultrapure water in the semiconductor industry
- 标准号
- T/ZGM 011-2023
- 发布
- 2023年
- 发布单位
- 中国团体标准
- 当前最新
- T/ZGM 011-2023
- 超滤膜元件适用范围、规范性引用文件、术语和定义、技术要求和测试方法等。