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三个应用场景对产品的纯度等级要求有所不同,太阳能电池领域对纯度要求相对较低,仅需达到G1、G2等级。显示面板领域一般要求达到G2、G3等级。半导体中分立器件对超净高纯试剂等级要求相对较低,基本集中在G2级;集成电路用超净高纯试剂的纯度要求最高,中低端领域(8英寸及以下晶圆制程)要求达到G3、G4 水平,部分高端领域(大硅片、12 英寸晶圆制程)要求达到G5等级(10ppt)。...
三个应用场景对产品的纯度等级要求有所不同,太阳能电池领域对纯度要求相对较低,仅需达到G1、G2等级。显示面板领域一般要求达到G2、G3等级。半导体中分立器件对超净高纯试剂等级要求相对较低,基本集中在G2级;集成电路用超净高纯试剂的纯度要求最高,中低端领域(8英寸及以下晶圆制程)要求达到G3、G4 水平,部分高端领域(大硅片、12 英寸晶圆制程)要求达到G5等级(10ppt)。...
目前,我国靶材龙头企业江丰电子、隆华节能、有研新材、阿石创已经分别进入国内外主流半导体、平板显示、光伏、光学器件企业供应链体系,且已经在部分企业本土产线实现中大批量供货。江丰电子是我国高纯溅射靶材龙头企业,该公司产品包括铝靶、钛靶、钽靶、钨钛靶等高纯溅射靶材,应用于半导体、平板显示、太阳能等领域。超高纯金属及溅射靶材是生产超大规模集成电路的关键材料之一,长期以来被日美企业垄断。...
针对半导体行业需求,可实现高纯(≥5N)铜、铝、钛、钽、钼等高纯溅射靶材中70种以上杂质元素快速检测;硅、碳化硅(SiC)、氮化镓(GaN)等基材从原料至晶圆的全元素杂质检测;SiC等外延片镀层化学成分及杂质含量分布。...
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