T/ZZB 0639-2018
氧化锌铝磁控溅射靶材
Alumium doped zinc oxide magnetron sputtering targets
- 标准号
- T/ZZB 0639-2018
- 发布
- 2018年
- 发布单位
- 中国团体标准
- 当前最新
- T/ZZB 0639-2018
- 适用范围
- 本标准规定了氧化锌铝磁控溅射靶材的术语和定义、基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存、质量承诺等。 本标准适用于粉末冶金生产的用于磁控溅射沉积节能Low-E玻璃的功能介质层以及薄膜太阳能电池透明电极层等膜层的氧化锌铝磁控溅射靶材。
T/ZZB 0639-2018相似标准
推荐
专栏|溅射镀膜技术的前世今生你到底知多少？
红外反射层铜膜采用直流磁控溅射铜靶的方式实现；氮氧化物双吸收层的制备是采用通入一定比例的氮气、氧气气氛，使其与钛靶、铝靶反应的反应磁控溅射技术；减反层制备使用的是氧化铝陶瓷靶，射频溅射法制备氧化铝膜层。读完这篇文章，大家对溅射镀膜技术是不是有了更进一步的了解呢？...
【沈阳科晶小课堂】制样篇之「磁控溅射仪制备50nm氧化锌（ZnO）薄膜」
大家好，本期我们为大家带来的是「磁控溅射仪制备50nm氧化锌（ZnO）薄膜」，敬请观看！▼/ 前情提要 /本期沈阳科晶小课堂为您讲解磁控溅射仪制备50nm氧化锌（ZnO）薄膜！使用设备：VTC-600-2HD双靶磁控溅射仪▼/ 点击观看视频 /▼/ 小结 / 在硅片上制备50nm的氧化锌（ZnO）薄膜，欢迎各位客户莅临或邮寄样品到科晶实验室体验测试！欢迎后台区留言！...
磁控溅射技术应用的现状
在溅射真空室中使用二号靶位的射频电源对靶材进行磁控溅射。靶材的上方为基片行走单元，能够实现在不同靶位来回循环运动。可以控制行走单元的转速、时间、靶位来得到更加均匀的薄膜。气体流量控制仪器能够实现对氩气等溅射气体及真空腔内压强的测量。同时这一套系统自带了基底加热装置，能够支持最高到 400 摄氏度的基底升温，通过加热电源、温度计、电炉丝及温度控制装置实现对基底的准备升温和温度保持。...
磁控溅射种类的介绍
磁控溅射包括很多种类。各有不同工作原理和应用对象。但有一共同点：利用磁场与电场交互作用，使电子在靶表面附近成螺旋状运行，从而增大电子撞击氩气产生离子的概率。所产生的离子在电场作用下撞向靶面从而溅射出靶材。 靶源分平衡和非平衡式，平衡式靶源镀膜均匀，非平衡式靶源镀膜膜层和基体结合力强。平衡靶源多用于半导体光学膜，非平衡多用于磨损装饰膜。...
T/ZZB 0639-2018 中可能用到的仪器设备
氧化锌 测试方法
国家质检总局
GB/T 16014-1995 车间空气中氧化锌的双硫分光光度测定方法
GB/T 16015-1995 车间空气中氧化锌的火焰原子吸收光谱测定方法
GB/T 3494-1996 直接法氧化锌
GB/T 18951-2003 橡胶配合剂 氧化锌 试验方法
GB/T 3185-1992 氧化锌(间接法)
GB/T 3185-2016 氧化锌(间接法)
GB/T 6609.12-1986 氧化铝化学分析方法 原子吸收分光光度法测定氧化锌量
GB/T 6609.12-2004 氧化铝化学分析方法和物理性能测定方法 火焰原子吸收光谱法测定氧化锌含量
GB/T 4372.1-1984 氧化锌(直接法)化学分析方法 亚铁氰化钾容量法测定氧化锌量
GB/T 4372.2-1984 氧化锌(直接法)化学分析方法 磷酸底液极谱法测定氧化铅与氧化镉量
GB/T 4372.3-1984 氧化锌(直接法)化学分析方法 双环已酮草酰二腙光度法测定氧化铜量
GB/T 4372.4-1984 氧化锌(直接法)化学分析方法 高碘酸钾光度法测定锰量
GB/T 4372.5-1984 氧化锌(直接法)化学分析方法 蒽醌法检验金属锌
GB/T 4372.1-2014 直接法氧化锌化学分析方法 第1部分:氧化锌量的测定 Na2EDTA滴定法
GB/T 4372.2-2014 直接法氧化锌化学分析方法 第2部分:氧化铅量的测定 火焰原子吸收光谱法
GB/T 4372.5-2014 直接法氧化锌化学分析方法 第5部分:锰量的测定 火焰原子吸收光谱法
GB/T 4372.6-2014 直接法氧化锌化学分析方法 第6部分:金属锌的检验
GB/T 4372.7-2014 直接法氧化锌化学分析方法 第7部分:三氧化二铁量的测定 火焰原子吸收光谱法
GB/T 4372.3-2015 直接法氧化锌化学分析方法 第3部分:氧化铜量的测定 火焰原子吸收光谱法
GB/T 4372.4-2015 直接法氧化锌化学分析方法 第4部分:氧化镉量的测定 火焰原子吸收光谱法
GB/T 16484.20-2009 氯化稀土、碳酸轻稀土化学分析方法.第20部分:氧化镍、氧化锰、氧化铅、氧化铝、氧化锌、氧化钍量的测定.电感耦合等离子体质谱法
GB/T 16484.22-2009 氯化稀土、碳酸轻稀土化学分析方法.第22部分:氧化锌量的测定.火焰原子吸收光谱法
GB/T 4104-2003 直接法氧化锌白度(颜色)检验方法
GB/T 3494-2012 直接法氧化锌
GB/T 4372.5-2001 直接法氧化锌化学分析方法 原子吸收光谱法测定锰量
GB/T 4372.6-2001 直接法氧化锌化学分析方法 金属锌的检验
GB/T 4372.1-2001 直接法氧化锌化学分析方法 Na2EDTA滴定法测定氧化锌量
GB/T 4372.2-2001 直接法氧化锌化学分析方法 原子吸收光谱法测定氧化铅量
GB/T 4372.3-2001 直接法氧化锌化学分析方法 原子吸收光谱法测定氧化铜量
GB/T 4372.4-2001 直接法氧化锌化学分析方法 原子吸收光谱法测定氧化镉量
行业标准-机械
JB/T 7774.1-1995 银氧化锌电触头材料化学分析方法 EDTA容量法测定锌量
JB/T 7774.4-1995 银氧化锌电触头材料化学分析方法 火焰原子吸收光谱法测定镍量
JB/T 7774.2-1995 银氧化锌电触头材料化学分析方法 铬天青S分光光度法测定铝量
JB/T 7774.3-1995 银氧化锌电触头材料化学分析方法 硫脲分光光度法测定铋量
JB/T 7774.5-1995 银氧化锌电触头材料化学分析方法 火焰原子吸收光谱法测定镁量
JB/T 7774.6-1995 银氧化锌电触头材料化学分析方法 火焰原子吸收光谱法测定镉量
JB/T 7774.1-2008 银氧化锌电触头材料化学分析方法.第1部分:EDTA容量法测定锌量
JB/T 7774.2-2008 银氧化锌电触头材料化学分析方法.第2部分:铬天青S分光光度法测定铝量
JB/T 7774.3-2008 银氧化锌电触头材料化学分析方法.第3部分:硫脲分光光度法测定铋量
JB/T 7774.4-2008 银氧化锌电触头材料化学分析方法.第4部分:火焰原子吸收光谱法测定镍量
JB/T 7774.5-2008 银氧化锌电触头材料化学分析方法.第5部分:火焰原子吸收光谱法测定镁量
JB/T 7774.6-2008 银氧化锌电触头材料化学分析方法.第6部分:火焰原子吸收光谱法测定镉量