DIN 50441-1:1996
半导体工艺材料试验.半导体片几何尺寸测量.第1部分:厚度和厚度变化
Testing of materials for semiconductor technology - Determination of the geometric dimensions of semiconductor wafers - Part 1: Thickness and thickness variation
- 标准号
- DIN 50441-1:1996
- 发布
- 1996年
- 发布单位
- 德国标准化学会
- 当前最新
- DIN 50441-1:1996
- 适用范围
- 该方法涵盖使用非接触式和接触式厚度测量仪器测定具有任何表面质量的圆形或D形半导体晶片的厚度。
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