DIN 50441-4:1999
半导体工艺用材料的试验.半导体圆片几何尺寸的测定.第4部分:圆片直径,直径变化量,扁片直径,扁片长度和扁片厚度
Testing of materials for semiconductor technology - Determination of the geometric dimensions of semiconductor wafers - Part 4: Slice diameter, diamter variation, flat diameter, flat length, flat depth
- 标准号
- DIN 50441-4:1999
- 发布
- 1999年
- 发布单位
- 德国标准化学会
- 当前最新
- DIN 50441-4:1999
- 适用范围
- 该文件的方法涵盖了切片直径、直径变化、扁平直径、扁平长度和扁平深度的测定。它们对于机械损伤来说是非破坏性的。#,,#
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