DIN 50445:1992
半导体工艺材料检验.用涡流法无接触测定电阻率.均匀掺杂半导体片

Testing of materials for semiconductor technology; contactless determination of the electrical resistivity of semiconductor slices with the eddy current method; homogeneously doped semiconductor wafers


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标准号
DIN 50445:1992
发布
1992年
发布单位
德国标准化学会
当前最新
DIN 50445:1992
 
 
该标准规定了测定均匀掺杂半导体晶片电阻率的测试方法。

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