DIN 50448:1998
半导体工艺材料试验.使用电容式探测器对半绝缘半导体切片电阻率的无接触测定

Testing of materials for semiconductor technology - Contactless determination of the electrical resistivity of semi-insulating semi-conductor slices using a capacitive probe


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DIN 50448:1998

标准号
DIN 50448:1998
发布
1998年
发布单位
德国标准化学会
当前最新
DIN 50448:1998
 
 
本文档涵盖了高欧姆电阻、半绝缘半导体切片的电阻率非接触式测定。

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