DIN 50448:1998
半导体工艺材料试验.使用电容式探测器对半绝缘半导体切片电阻率的无接触测定
Testing of materials for semiconductor technology - Contactless determination of the electrical resistivity of semi-insulating semi-conductor slices using a capacitive probe
- 标准号
- DIN 50448:1998
- 发布
- 1998年
- 发布单位
- 德国标准化学会
- 当前最新
- DIN 50448:1998
- 适用范围
- 本文档涵盖了高欧姆电阻、半绝缘半导体切片的电阻率非接触式测定。
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