JIS R1683-2007
用原子力显微镜方法测定陶瓷薄膜表面粗糙度的试验方法

Test method for surface roughness of ceramic thin films by atomic force microscopy

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标准号

JIS R1683-2007

发布日期

2007年11月20日

实施日期

废止日期

无

中国标准分类号

Q32

国际标准分类号

81.060.30

发布单位

日本工业标准调查会

引用标准

JIS B0601 JIS B0633 JIS B0651 JIS Z8401

代替标准

JIS R1683-2014

适用范围

この規格は，基板上に形成したファインセラミックス薄膜の表面形状のうち，算術平均粗さRaの範囲が1~3O nm，かつ，粗さ曲線要素の平均長さRSmの範囲がO.04~2.5 μmの表面粗さを，原子間力顕微鏡によって測定する方法について規定する。