JIS R 1683:2007
用原子力显微镜方法测定陶瓷薄膜表面粗糙度的试验方法

Test method for surface roughness of ceramic thin films by atomic force microscopy

作废

非常抱歉，我们暂时无法提供预览，您可以试试： 免费下载 JIS R 1683:2007 前三页，或者稍后再访问。

如果您需要购买此标准的全文，请联系： 。

注意： 点击下载后，生成下载文件时间比较长，请耐心等待......

标准号

JIS R 1683:2007

发布

2007年

发布单位

日本工业标准调查会

替代标准

JIS R 1683:2014

当前最新

JIS R 1683:2014

 

 

引用标准

JIS B 0601 JIS B 0633 JIS B 0651 JIS Z 8401

适用范围

この規格は，基板上に形成したファインセラミックス薄膜の表面形状のうち，算術平均粗さRaの範囲が1~3O nm，かつ，粗さ曲線要素の平均長さRSmの範囲がO.04~2.5 μmの表面粗さを，原子間力顕微鏡によって測定する方法について規定する。

JIS R 1683:2007相似标准

推荐