JIS R1683-2007
用原子力显微镜方法测定陶瓷薄膜表面粗糙度的试验方法

Test method for surface roughness of ceramic thin films by atomic force microscopy

JIS R1683-2007 发布历史

この規格は，基板上に形成したファインセラミックス薄膜の表面形状のうち，算術平均粗さRaの範囲が1~3O nm，かつ，粗さ曲線要素の平均長さRSmの範囲がO.04~2.5 μmの表面粗さを，原子間力顕微鏡によって測定する方法について規定する。

JIS R1683-2007由日本工业标准调查会 JP-JISC 发布于 2007-11-20。

JIS R1683-2007 在中国标准分类中归属于: Q32 特种陶瓷，在国际标准分类中归属于: 81.060.30 高级陶瓷。

JIS R1683-2007 发布之时，引用了标准

• JIS B0601 产品几何技术规范(GPS).表面纹理:剖面法.术语,定义和表面纹理参数*， 2013-03-21 更新
• JIS B0633 产品几何量技术规范(GPS).表面结构:轮廓法.表面结构评定规则和程序
• JIS B0651 产品几何量技术规范(GPS).表面结构:轮廓法.触针式仪器的标称特性
• JIS Z8401 数值圆整指南

* 在 JIS R1683-2007 发布之后有更新，请注意新发布标准的变化。

JIS R1683-2007的历代版本如下：

• 2007年11月20日 JIS R1683-2007 用原子力显微镜方法测定陶瓷薄膜表面粗糙度的试验方法
• 2014年10月20日 JIS R1683-2014 用原子力显微镜方法测定陶瓷薄膜表面粗糙度的试验方法

非常抱歉，我们暂时无法提供预览，您可以试试： 免费下载 JIS R1683-2007 前三页，或者稍后再访问。

注意： 点击下载后，生成下载文件时间比较长，请耐心等待......

标准号

JIS R1683-2007

发布日期

2007年11月20日

实施日期

废止日期

无

中国标准分类号

Q32

国际标准分类号

81.060.30

发布单位

JP-JISC

引用标准

JIS B0601 JIS B0633 JIS B0651 JIS Z8401

代替标准

JIS R1683-2014

适用范围

この規格は，基板上に形成したファインセラミックス薄膜の表面形状のうち，算術平均粗さRaの範囲が1~3O nm，かつ，粗さ曲線要素の平均長さRSmの範囲がO.04~2.5 μmの表面粗さを，原子間力顕微鏡によって測定する方法について規定する。