JIS R 1683:2007
用原子力显微镜方法测定陶瓷薄膜表面粗糙度的试验方法

Test method for surface roughness of ceramic thin films by atomic force microscopy


说明：

  • 此图仅显示与当前标准最近的5级引用；
  • 鼠标放置在图上可以看到标题编号；
  • 此图可以通过鼠标滚轮放大或者缩小；
  • 表示标准的节点，可以拖动；
  • 绿色表示标准：JIS R 1683:2007 ， 绿色、红色表示本平台存在此标准，您可以下载或者购买，灰色表示平台不存在此标准；
  • 箭头终点方向的标准引用了起点方向的标准。
标准号
JIS R 1683:2007
发布
2007年
发布单位
日本工业标准调查会
替代标准
JIS R 1683:2014
当前最新
JIS R 1683:2014
 
 
引用标准
JIS B 0601 JIS B 0633 JIS B 0651 JIS Z 8401
この規格は，基板上に形成したファインセラミックス薄膜の表面形状のうち，算術平均粗さRaの範囲が1~3O nm，かつ，粗さ曲線要素の平均長さRSmの範囲がO.04~2.5 μmの表面粗さを，原子間力顕微鏡によって測定する方法について規定する。

JIS R 1683:2007相似标准

ISO/DIS 19606:2023 精细陶瓷（先进陶瓷、先进技术陶瓷）原子力显微镜精细陶瓷薄膜表面粗糙度测试方法 GB/T 31227-2014 原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法 ISO 19606:2017 精细陶瓷(高级陶瓷, 高级工业陶瓷). 采用原子力显微技术的精细陶瓷薄膜表面硬度试验方法 BS ISO 19606:2017 精细陶瓷(高级陶瓷, 高级工业陶瓷). 采用原子力显微技术的精细陶瓷薄膜表面硬度试验方法 GB/T 32189-2015 氮化镓单晶衬底表面粗糙度的原子力显微镜检验法

推荐

原子力显微镜及其应用

3．应用范围广，可用于表面观察、尺寸测定、表面粗糙测定、颗粒度解析、突起与凹坑的统计处理、成膜条件评价、保护层的尺寸台阶测定、层间绝缘膜的平整度评价、VCD涂层评价、定向薄膜的摩擦处理过程的评价、缺陷分析等。4．软件处理功能强，其三维图象显示其大小、视角、显示色、光泽可以自由设定。并可选用网络、等高线、线条显示。图象处理的宏管理，断面的形状与粗糙度解析，形貌解析等多种功能。...


Copyright ©2007-2022 ANTPEDIA, All Rights Reserved
京ICP备07018254号 京公网安备1101085018 电信与信息服务业务经营许可证：京ICP证110310号