ISO 17973:2002
表面化学分析.中分辨率螺旋电子光谱仪.元素分析用能量标度的校准

Surface chemical analysis - Medium-resolution Auger electron spectrometers - Calibration of energy scales for elemental analysis

被代替

ISO 17973:2002 发布历史

ISO 17973:2002由国际标准化组织 IX-ISO 发布于 2002-10。

ISO 17973:2002 在中国标准分类中归属于: N51 物性分析仪器，在国际标准分类中归属于: 71.040.40 化学分析。

本标准有修改采用的 中文版 GB/T 29732-2013 表面化学分析 中等分辨率俄歇电子谱仪 元素分析用能量标校准

ISO 17973:2002的历代版本如下：

• 2016年 ISO 17973:2016 表面化学分析.中分辨率螺旋电子光谱仪.元素分析用能量标度的校准
• 2002年 ISO 17973:2002 表面化学分析.中分辨率螺旋电子光谱仪.元素分析用能量标度的校准

本国际标准规定了不确定度为 3 eV 的俄歇电子能谱仪动能标度的校准方法，用于识别表面元素的一般分析用途。 此外，它还规定了建立校准计划的方法。 它适用于直接模式或差分模式下使用的仪器，其中分辨率小于或等于 0.5%，并且差分模式（如果使用）的调制幅度为 2 eV 峰峰值。 它适用于配备惰性气体离子枪或其他样品清洁方法以及能够在4 keV或更高束流能量下工作的电子枪的光谱仪。

标准号

ISO 17973:2002

发布

2002年

中文版

GB/T 29732-2013 (修改采用的中文版本)

发布单位

国际标准化组织

替代标准

ISO 17973:2016

当前最新

ISO 17973:2016

 

 

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