ASTM F1188-00
红外线吸收法测定硅中填隙原子氧含量的标准试验方法
Standard Test Method for Interstitial Atomic Oxygen Content of Silicon by Infrared Absorption
- 标准号
- ASTM F1188-00
- 发布
- 2000年
- 中文版
- GB/T 1557-2006 (修改采用的中文版本)
- 发布单位
- 美国材料与试验协会
- 替代标准
- ASTM F1188-02
- 当前最新
- ASTM F1188-02
- 引用标准
- ASTM E1 ASTM E131 ASTM E932
- 适用范围
- 1.1 本试验方法适用于红外光谱法测定单晶硅的间隙氧含量。该测试方法需要使用无氧参考样本和一组校准标准，例如包含 NIST SRM 2551 的校准标准。它允许但不要求使用计算机分光光度计。
1.2 本试验方法可测量的氧浓度的有用范围是从1×1016原子/cm3到硅中可溶的间隙氧的最大量。
1.3 使用本测试方法获得的氧浓度假定间隙氧浓度与硅中与间隙氧相关的1107 cm-1 波段的吸收系数之间存在线性关系。
1.4 本标准并不旨在解决与其使用相关的所有安全问题（如果有）。本标准的使用者有责任在使用前建立适当的安全和健康实践并确定监管限制的适用性。
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