ASTM E2246-05
用光学干涉仪测量反射薄膜应变梯度的标准试验方法

Standard Test Method for Strain Gradient Measurements of Thin, Reflecting Films Using an Optical Interferometer

被代替

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标准号

ASTM E2246-05

发布

2005年

发布单位

美国材料与试验协会

替代标准

ASTM E2246-11

当前最新

ASTM E2246-11(2018)

 

 

适用范围

应变梯度值有助于 MEMS 器件的设计和制造。
1.1 该测试方法涵盖了测量反射薄膜中应变梯度的程序。它仅适用于薄膜，例如微机电系统 (MEMS) 材料中的薄膜，可以使用光学干涉仪对其进行成像。不接受接触底层的悬臂进行的测量。
1.2 该测试方法使用能够获取地形 3D 数据集的非接触式光学干涉仪。它是在实验室中进行的。本标准并不旨在解决与其使用相关的所有安全问题（如果有）。本标准的使用者有责任在使用前建立适当的安全和健康实践并确定监管限制的适用性。

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