ASTM E2246-05由美国材料与试验协会 US-ASTM 发布于 2005。
ASTM E2246-05 在中国标准分类中归属于: N50 物质成份分析仪器与环境监测仪器综合。
应变梯度值有助于 MEMS 器件的设计和制造。
1.1 该测试方法涵盖了测量反射薄膜中应变梯度的程序。它仅适用于薄膜,例如微机电系统 (MEMS) 材料中的薄膜,可以使用光学干涉仪对其进行成像。不接受接触底层的悬臂进行的测量。
1.2 该测试方法使用能够获取地形 3D 数据集的非接触式光学干涉仪。它是在实验室中进行的。本标准并不旨在解决与其使用相关的所有安全问题(如果有)。本标准的使用者有责任在使用前建立适当的安全和健康实践并确定监管限制的适用性。
方法是,首先在目标气体或干扰组分浓度尽可能小的情况下测量单光束能量曲线,然后尽量按照仪器相应曲线的形状选取单光束能量曲线上的数据点,最后用一系列 短直线或其它合适的函数将这些点连接,制成合成背景光谱。(A) 光源和干涉仪在光路的一端,检测器在操作端;(B) 光源在光路一端,干涉仪和检测器在操作端。(4)实际测量的光程范围可以用下面方法确定。...
LAYERTEC的标准检验流程包括基板的干涉测量和涂层光学元件在波长范围为120纳米到20微米的分光光度计测量。在波长范围λ=120纳米至20微米的标准分光光度计测量,使用紫外-可见-近红外分光光度计,真空紫外和傅里叶变换红外分光光度计。通过腔环衰减时间测量法,可以确定R、T=99.5%至99.9999%的高反射率和透射率。这种方法是一种高精度的绝对测量方法。...
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