ASTM E2244-02
用光学干涉仪测量反射薄膜共面长度的标准试验方法
Standard Test Method for In-Plane Length Measurements of Thin, Reflecting Films Using an Optical Interferometer
ASTM E2244-02 中，可能用到以下仪器
- 标准号
- ASTM E2244-02
- 发布
- 2002年
- 发布单位
- 美国材料与试验协会
- 替代标准
- ASTM E2244-05
- 当前最新
- ASTM E2244-11(2018)
- 1.1 本测试方法涵盖了测量图案化薄膜面内长度（包括偏转）的程序。它仅适用于薄膜，例如微机电系统 (MEMS) 材料中的薄膜，可以使用干涉仪对其进行成像。1.2 还有其他方法可以确定面内长度。使用设计尺寸通常比使用光学干涉仪进行的测量提供更精确的面内长度值。 （干涉测量通常比使用光学显微镜进行的测量更精确。）该测试方法适用于当干涉测量优于使用设计尺寸时（例如...
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