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实验结果表明，通过磁控溅射制备的钙钛矿薄膜PSCs的功率转换效率 (PCE) 为6.14%。经过优化，获得了具有优异电子性能的高性能钙钛矿薄膜，并实现了具有优异重复性的稳定PSC，其PCE高达15.22%。这种全新的合成方法开辟了一种新的和有前途的方法，在平面异质结和串联PSC的商业应用中的大面积生产中实现高通量磁控溅射。...
特点：对于任何待镀材料，只要能做成靶材，就可实现溅射（适合制备难蒸发材料，不易得到高纯度的化合物所对应的薄膜材料）；溅射所获得的薄膜和基片结合较好；消耗贵金属少，每次仅约几毫克；溅射工艺可重复性好，膜厚可控制，同时可以在大面积基片上获得厚度均匀的薄膜。溅射方法：直流溅射、射频溅射、磁控溅射、反应溅射。...
特点：对于任何待镀材料，只要能做成靶材，就可实现溅射（适合制备难蒸发材料，不易得到高纯度的化合物所对应的薄膜材料）；溅射所获得的薄膜和基片结合较好；消耗贵金属少，每次仅约几毫克；溅射工艺可重复性好，膜厚可控制，同时可以在大面积基片上获得厚度均匀的薄膜。溅射方法：直流溅射、射频溅射、磁控溅射、反应溅射。...
加入溶液处理TiOxNy的PSCs已被报道，但器件性能没有超过标准TiOx电子传输层(ETLs)的PSCs，因为优化金属氧化物传输层性能所需的化学计量控制对溶液处理具有挑战性。鉴于此，第一作者彭军及其合作者报告了一种反掺杂方法，通过在氧气氛中使用受控退火温度氧化溅射氮化钛薄膜来生产高质量的TiOxNy薄膜。...
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