ASTM E2530-06
用Si(111)单原子层级对原子力显微镜进行次纳米位移级的Z倍率校准的标准规程

Standard Practice for Calibrating the Z-Magnification of an Atomic Force Microscope at Subnanometer Displacement Levels Using Si(111) Monatomic Steps

2015-01

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ASTM E2530-06

标准号
ASTM E2530-06
发布
2006年
发布单位
美国材料与试验协会
当前最新
ASTM E2530-06
 
 
仔细使用此实践可以产生可追溯至 SI 长度单位的校准 z 放大率,在约 1 nm 的高度范围内不确定性 (k = 2) 约为 7%。 1.1 此实践涵盖了校准 z 尺度的测量程序使用 Si(111) 单原子阶梯高度样品的原子力显微镜。 1.2 应用 当原子力显微镜 (AFM) 在其最高水平的 z 放大倍数(即在z 位移的纳米和亚纳米范围。当 AFM 用于测量...

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