GB/T 23414-2009
微束分析.扫描电子显微术.术语

Microbeam analysis.Scanning electron microscopy.Vocabulary


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GB/T 23414-2009



标准号
GB/T 23414-2009
发布日期
2009年04月01日
实施日期
2009年12月01日
废止日期
中国标准分类号
N33
发布单位
国家质检总局
适用范围
本标准定义了扫描电子显微术(SEM)实践中使用的术语。包括一般术语和按技术分类的具体概念的术语,也包括已经在ISO 23833中定义的术语。 本标准适用于所有有关SEM实践的标准化文件。另外,本标准的某些术语定义,也适用于相关领域的文件〔例如:电子探针显微分析(EPMA)、分析电子显微术(AEM)、能谱法(EDX)等〕。

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