DIN 50455-1:1991
半导体工艺材料的检验.表示光致抗蚀剂特性的方法.第1部分:用光学测量法对涂层厚度的测定

Testing of materials for semiconductor technology; methods for characterizing photoresists; determination of coating thickness with optical methods

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标准号

DIN 50455-1:1991

发布

1991年

发布单位

德国标准化学会

替代标准

DIN 50455-1:2009

当前最新

DIN 50455-1:2009-10

 

 

适用范围

The standard defines a method which allows the characterization of photoresists by determining the coating thickness.

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