GB/T 14264-2009
半导体材料术语
Semiconductor materials-Terms and definitions
GBT14264-2009, GB14264-2009
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- 标准号
- GB/T 14264-2009
- 别名
- GBT14264-2009
GB14264-2009 - 发布
- 2009年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 当前最新
- GB/T 14264-2009
- 引用标准
- ASTM F1241 SEMI M59
- 被代替标准
- GB/T 14264-1993
- 本标准规定了半导体材料及其生长工艺、加工、晶体缺陷和表面沾污等方面的主要术语和定义。 本标准适用于元素和化合物半导体材料。
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