GB/T 14604-2009
电子工业用气体.氧
Gas for electronic industry.Oxygen
说明：
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- 标准号
- GB/T 14604-2009
- 发布日期
- 2009年10月30日
- 实施日期
- 2010年05月01日
- 废止日期
- 无
- 中国标准分类号
- G86
- 国际标准分类号
- 71.100.20
- 发布单位
- CN-GB
- 引用标准
- GB 190-2009 GB/T 3723-1999 GB/T 3863-2008 GB 5099-1994 GB 7144-1999 GB/T 8984-2008 GB 14194-2006 GB/T 14600 GB 16912-2008 JB/T 5905-2000 JB/T 6897-2000 JB/T 6898-1997 气瓶安全监察规程 压力容器安全技术监察规程 压力管道安全管理与监察规定
- 被代替标准
- GB/T 14604-1993
- 适用范围
- 本标准规定了电子工业用氧的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。 本标准适用于以深冷法、电解法提取的气态或液态氧，以及经纯化方法得到的氧。他们主要用于二氧化硅化学气相淀积，用作氧化源和生产高纯水的反应剂，用于等离子体蚀刻和剥离、光导纤维。