GB/T 14604-2009由国家质检总局 CN-GB 发布于 2009-10-30,并于 2010-05-01 实施。
GB/T 14604-2009 在中国标准分类中归属于: G86 工业气体与化学气体,在国际标准分类中归属于: 71.100.20 工业气体。
本标准规定了电子工业用氧的技术要求,试验方法以及包装、标志、贮运及安全。 本标准适用于以深冷法、电解法提取的气态或液态氧,以及经纯化方法得到的氧。他们主要用于二氧化硅化学气相淀积,用作氧化源和生产高纯水的反应剂,用于等离子体蚀刻和剥离、光导纤维。
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