GB/T 14604-2009
电子工业用气体.氧

Gas for electronic industry.Oxygen


哪些标准引用了GB/T 14604-2009

 

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GB/T 14604-2009



标准号
GB/T 14604-2009
发布日期
2009年10月30日
实施日期
2010年05月01日
废止日期
中国标准分类号
G86
国际标准分类号
71.100.20
发布单位
CN-GB
引用标准
GB 190-2009 GB/T 3723-1999 GB/T 3863-2008 GB 5099-1994 GB 7144-1999 GB/T 8984-2008 GB 14194-2006 GB/T 14600 GB 16912-2008 JB/T 5905-2000 JB/T 6897-2000 JB/T 6898-1997 气瓶安全监察规程 压力容器安全技术监察规程 压力管道安全管理与监察规定
被代替标准
GB/T 14604-1993
适用范围
本标准规定了电子工业用氧的技术要求,试验方法以及包装、标志、贮运及安全。 本标准适用于以深冷法、电解法提取的气态或液态氧,以及经纯化方法得到的氧。他们主要用于二氧化硅化学气相淀积,用作氧化源和生产高纯水的反应剂,用于等离子体蚀刻和剥离、光导纤维。

GB/T 14604-2009系列标准


GB/T 14604-2009 中可能用到的仪器设备





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