ASTM E2246-11
用光学干涉仪测量反射薄膜应变梯度的标准试验方法

Standard Test Method for Strain Gradient Measurements of Thin, Reflecting Films Using an Optical Interferometer


哪些标准引用了ASTM E2246-11

 

ASTM E2245-11(2018) 使用光学干涉仪的薄的反射膜的残余应变测量的标准测试方法ASTM E2244-11(2018) 使用光学干涉仪测量薄膜 反射膜的面内长度的标准测试方法ASTM E2444-11(2018) 标准术语 涉及对薄膜 反射膜的测量ASTM E2245-11 利用光学干涉仪测量反射膜残余应变的标准试验方法ASTM E2245-11e1 采用光学干涉仪测量反射薄膜残余应变的标准试验方法ASTM E2244-11e1 采用光学干涉仪测量反射薄膜共面长度的标准试验方法ASTM E2444-11e1 与反射薄膜上测量的相关术语
标准号
ASTM E2246-11
发布
2011年
发布单位
美国材料与试验协会
替代标准
ASTM E2246-11e1
当前最新
ASTM E2246-11(2018)
 
 
应变梯度值有助于 MEMS 器件的设计和制造。1.1 该测试方法涵盖了测量反射薄膜中应变梯度的程序。它仅适用于薄膜，例如微机电系统 (MEMS) 材料中的薄膜，可以使用光学干涉仪（也称为干涉显微镜）对其进行成像。不接受接触底层的悬臂进行的测量。 1.2 本测试方法使用非接触式光学干涉显微镜，能够获取地形 3-D 数据集。它是在实验室进行的。 1.3 本标准并...

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ASTM E2246-11 中可能用到的仪器设备

白光干涉测厚仪 薄膜应力测试仪

谁引用了ASTM E2246-11 更多引用

ASTM E2245-11(2018) 使用光学干涉仪的薄的反射膜的残余应变测量的标准测试方法 ASTM E2244-11(2018) 使用光学干涉仪测量薄膜 反射膜的面内长度的标准测试方法 ASTM E2444-11(2018) 标准术语 涉及对薄膜 反射膜的测量 ASTM E2245-11 利用光学干涉仪测量反射膜残余应变的标准试验方法 ASTM E2245-11e1 采用光学干涉仪测量反射薄膜残余应变的标准试验方法 ASTM E2244-11e1 采用光学干涉仪测量反射薄膜共面长度的标准试验方法 ASTM E2444-11e1 与反射薄膜上测量的相关术语


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