GB/T 29190-2012
扫描探针显微镜漂移速率测量方法

Measurement methods of drift rate of scanning probe microscope

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标准号: GB/T 29190-2012
发布日期: 2012年12月31日
实施日期: 2013年06月01日
废止日期: 无
中国标准分类号: N33;A60
国际标准分类号: 17.180.99
发布单位: CN-GB
引用标准: GB/T 15000.3 JJF 1001 JJF 1059 ISO 18115

适用范围: 本标准规定了SPM漂移速率的术语和定义、缩略语、测量步骤、性能参数规格，及基于SPM扫描图像的漂移速率测量基波方法。本标准适用于0.01nm/s到10nm/s的漂移速率测量。本标准中的漂移测量不适用于图像校正。

GB/T 29190-2012系列标准

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