日前,由中国科学技术大学工程科学学院黄文浩教授主持制订的国际标准“扫描探针显微镜漂移测量方法(ISO11039:2012)”已由国际标准化组织正式发布。 自20世纪80年代扫描探针显微镜(Scanning-probe microscopy,SPM)发明以来,由于其具有原子量级的分辨能力,极大地促进了纳米科学技术的发展,并已逐步形成了一种高新技术产业。...
通过调节增益来使两条扫描线基本重合并且没有震荡;l)优化Setpoint。在Contact模式中,调节Deflection setpoint直到Trace和Retrace两条扫描线基本一致;m)调节扫描范围和扫描速率。随着扫描范围的增大,扫描速率必须相应降低。大的扫描速率会减少漂移现象,但一般只用于扫描小范围的很平的表面;n)如果样品很平,可以适当减小Z Range的数值,这将提高Z方向的分辨率。...
通过调节增益来使两条扫描线基本重合并且没有震荡;l)优化Setpoint。在Contact模式中,调节Deflection setpoint直到Trace和Retrace两条扫描线基本一致;m)调节扫描范围和扫描速率。随着扫描范围的增大,扫描速率必须相应降低。大的扫描速率会减少漂移现象,但一般只用于扫描小范围的很平的表面;n)如果样品很平,可以适当减小Z Range的数值,这将提高Z方向的分辨率。...
通过调节增益来使两条扫描线基本重合并且没有震荡;l)优化Setpoint。在Contact模式中,调节Deflection setpoint直到Trace和Retrace两条扫描线基本一致;m)调节扫描范围和扫描速率。随着扫描范围的增大,扫描速率必须相应降低。大的扫描速率会减少漂移现象,但一般只用于扫描小范围的很平的表面;n)如果样品很平,可以适当减小Z Range的数值,这将提高Z方向的分辨率。...
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