图1为标准光栅的SEM图像。用10条光栅的间距4630nm(图1中线段AB所示),来校正放大倍率,校正结果以每象素代表的实际长度表示。校正后对标准光栅进行测量,本文所使用的放大倍率的误差列于表1,可见误差均小于0.5%。经过校正后的蔡司EVO 18型扫描电子显微镜,将在质检和计量工作中发挥非常重要的作用。 ...
该方法可直接关联图像扫描与激光干涉仪的位置测量,实现对样品纳米结构扫描成像的量值溯源,有效减少电子束扫描成像过程中放大倍率波动和扫描线圈非线性特征在纳米尺度测量中产生的误差,从而实现对样品纳米结构的溯源测量。 该设备的研制成功对我国纳米尺度计量标准的制定、扫描电子显微镜及其它纳米尺寸测量仪器的校准、纳米标样和标物的校准、参与国际长度比对等方面将起到重要作用。 ...
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