GB/T 30701-2014
表面化学分析 硅片工作标准样品表面元素的化学收集方法和全反射X射线荧光光谱法(TXRF)测定
Surface chemical analysis.Chemical methods for the collection of elements from the surface of silicon-wafer working reference materials and their determination by total-reflection X-ray fluorescence (TXRF) spectroscopy
GBT30701-2014, GB30701-2014
- 标准号
- GB/T 30701-2014
- 别名
- GBT30701-2014, GB30701-2014
- 发布
- 2014年
- 采用标准
- ISO 17331:2004 IDT
- 发布单位
- 国家质检总局
- 当前最新
- GB/T 30701-2014
- 引用标准
- GB/T 6379.2-2004 ISO 14644-1:1999 ISO 14706:2000
- 适用范围
- 本标准规定了硅片工作标准样品表面元素铁和/或镍的化学收集方法(气相分解法或直接酸性液滴分解法)和全反射X射线荧光光谱法(TXRF)测定。本标准适用于原子表面密度介于6×109 atoms/cm2~5×1011 atoms/cm2范围的铁和/或镍。
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