GB/T 30868-2014
碳化硅单晶片微管密度的测定 化学腐蚀法
Test method for measuring micropipe density of monocrystalline silicon carbide wafers.Chemically etching
GB/T 30868-2014 中，可能用到以下仪器
- 标准号
- GB/T 30868-2014
- 发布日期
- 2014年07月24日
- 实施日期
- 2015年02月01日
- 废止日期
- 无
- 中国标准分类号
- H83
- 国际标准分类号
- 29.045
- 发布单位
- CN-GB
- 引用标准
- GB/T 14264
- 适用范围
- 本标准规定了利用熔融氢氧化钾腐蚀法测定碳化硅单晶微管密度的方法。本标准适用于碳化硅单晶微管密度的测定。