GB/T 30868-2014
碳化硅单晶片微管密度的测定 化学腐蚀法
Test method for measuring micropipe density of monocrystalline silicon carbide wafers.Chemically etching
GBT30868-2014, GB30868-2014
- 标准号
- GB/T 30868-2014
- 别名
- GBT30868-2014
GB30868-2014 - 发布
- 2014年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 当前最新
- GB/T 30868-2014
- 引用标准
- GB/T 14264
- 本标准规定了利用熔融氢氧化钾腐蚀法测定碳化硅单晶微管密度的方法。 本标准适用于碳化硅单晶微管密度的测定。
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