GB/T 30653-2014
Ⅲ族氮化物外延片结晶质量测试方法

Test method for crystal quality of Ⅲ-nitride epitaxial layers

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标准号: GB/T 30653-2014
发布日期: 2014年12月31日
实施日期: 2015年09月01日
废止日期: 无
中国标准分类号: H21
国际标准分类号: 77.040.20
发布单位: CN-GB

适用范围: 本标准规定了利用高分辨X射线衍射仪测试Ⅲ族氮化物外延片结晶质量的方法。本标准适用于在氧化物衬底(Al₂O₃、ZnO等)或半导体衬底(GaN、Si、GaAs、SiC等)上外延生长的氮化物(Ga、In、Al)N单层或多层异质外延片结晶质量的测试。其他异质外延片结晶质量的测试也可参考本标准。

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