SJ/T 11491-2015
短基线红外吸收光谱法测量硅中间隙氧含量

Test methods for measurement of interstitial oxygen content in silicon by short baseline infrared absorption spectrometry


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SJ/T 11491-2015



标准号
SJ/T 11491-2015
发布日期
2015年04月30日
实施日期
2015年10月01日
废止日期
中国标准分类号
H82
国际标准分类号
29.045
发布单位
CN-SJ
适用范围
本标准规定了用短基线红外光谱法测定硅中间隙氧含量。本标准适用于在室温下用短基线红外吸收法,测量低电阻率的n型硅单晶和p型硅单晶中间隙氧含量。测量氧含量的有效范围从1×1016 at · cm-3至硅单晶中间隙氧的最大固溶度的测试。

SJ/T 11491-2015 中可能用到的仪器设备





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