SJ/T 11491-2015
短基线红外吸收光谱法测量硅中间隙氧含量
Test methods for measurement of interstitial oxygen content in silicon by short baseline infrared absorption spectrometry
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- 标准号
- SJ/T 11491-2015
- 发布
- 2015年
- 发布单位
- 行业标准-电子
- 当前最新
- SJ/T 11491-2015
- 适用范围
- 本标准规定了用短基线红外光谱法测定硅中间隙氧含量。本标准适用于在室温下用短基线红外吸收法,测量低电阻率的n型硅单晶和p型硅单晶中间隙氧含量。测量氧含量的有效范围从1×1016 at · cm-3至硅单晶中间隙氧的最大固溶度的测试。