SJ/T 11491-2015
短基线红外吸收光谱法测量硅中间隙氧含量

Test methods for measurement of interstitial oxygen content in silicon by short baseline infrared absorption spectrometry

标准号

SJ/T 11491-2015

发布日期

2015年04月30日

实施日期

2015年10月01日

废止日期

无

中国标准分类号

H82

国际标准分类号

29.045

发布单位

CN-SJ

适用范围

本标准规定了用短基线红外光谱法测定硅中间隙氧含量。本标准适用于在室温下用短基线红外吸收法,测量低电阻率的n型硅单晶和p型硅单晶中间隙氧含量。测量氧含量的有效范围从1×10¹⁶ at · cm^-3至硅单晶中间隙氧的最大固溶度的测试。

SJ/T 11491-2015 中可能用到的仪器设备