GB/T 24578-2015
硅片表面金属沾污的全反射X光荧光光谱测试方法

GB/T 24578-2015 发布历史

GB/T 24578-2015由国家质检总局 CN-GB 发布于 ，并于 2017-01-01 实施。

GB/T 24578-2015 发布之时，引用了标准

• GB/T 14264 半导体材料术语*， 2009-10-30 更新
• GB 50073-2013 洁净厂房设计规范*， 2013-01-28 更新

* 在 GB/T 24578-2015 发布之后有更新，请注意新发布标准的变化。

GB/T 24578-2015的历代版本如下：

• 2009年10月30日 GB/T 24578-2009 硅片表面金属沾污的全反射X光荧光光谱测试方法
• 2015年12月10日 GB/T 24578-2015 硅片表面金属沾污的全反射X光荧光光谱测试方法

GB/T 24578-2015 硅片表面金属沾污的全反射X光荧光光谱测试方法 由 GB/T 24578-2009 变更而来。

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标准号

GB/T 24578-2015

发布日期

实施日期

2017年01月01日

废止日期

无

发布单位

CN-GB

GB/T 24578-2015系列标准

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