目前我们为了能测a试出晶圆表面这些超微量的金属离子当前大家使用的比较常见的技术手段一般为：VPD(Vapor Phase decomposition）化学气相分解)配合以下元素分析设备中的一种来实现： 1.TXRF（total reflection X-ray luorescence全反射X射线荧光光谱仪） TXRF因为是X射线作为荧光的激发源，所以对于某些轻金属元素像Na、Mg、Al等超微量存在的离子无法检测出来...
X射线衍射仪（XRD）可测试粉末、薄膜等样品的晶体结构等指标，多应用于分子结构分析及金属相变研究；而全反射X荧光光谱仪（TXRF）的检测限已达到皮克级别，其非破坏性分析特点应用在痕量元素分析中，涉及环境、医药、半导体、核工业、石油化工等行业；为迎合工业市场需求而设计制造的专用残余应力分析仪、残余奥氏体分析仪，近年来被广泛应用在高端材料检测领域，其操作的便捷性颇受行业青睐。...
1荧光基础知识简介什么是荧光？当物质分子吸收光子能量而被激发，然后从激发态的最低振动能级返回到基态能级时所发射出来的光即为荧光（fluorescence）。分子荧光光谱法，又称为荧光光谱法或荧光分析法，是以物质所发射的荧光强度与浓度之间的线性关系为依据进行的定量分析，以荧光光谱的形状与荧光峰对应的波长进行的定性分析。荧光分析法具有灵敏度高、试样用量少、操作简便、选择性比吸收光谱法好等特点。...
一、概论X 射线荧光光谱法是一个相对分析方法，任何制样过程和步骤必须有非常好的重复操作可能性；用于制作校准曲线的标准样品和分析样品必须经过同样的制样处理过程。 X 射线荧光实际上又是一个表面分析方法，激发只发生在试样的浅表面，必须注意分析面相对于整个样品是否有代表性。此外，样品的平均粒度和粒度分布是否有变化，样品中是否存在不均匀的多孔状态等。...
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