GB/T 32189-2015
氮化镓单晶衬底表面粗糙度的原子力显微镜检验法
Atomic Force Microscopy Examination of Surface Roughness of Gallium Nitride Single Crystal Substrate
GBT32189-2015, GB32189-2015
- 标准号
- GB/T 32189-2015
- 别名
- GBT32189-2015, GB32189-2015
- 发布
- 2016年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 当前最新
- GB/T 32189-2015
- 引用标准
- GB/T 14264 GB/T 27760 GB/T 3505 JJF 1351
- 适用范围
- 本标准规定了用原子力显微镜测试所化久单晶衬底表面粗糙度的方法。 本标准适用于化学气相沉积及其他方法生长制备的表面粗糙度小于10 nm 的氮化匀单唱衬底。 其他具有相似表面结构的半导体单品衬底应用本标准提供的方法进行测试前,需经测试双方协商达成一致。