氮化镓单晶衬底表面粗糙度的原子力显微镜检验法 是非强制性国家标准,您可以免费下载预览页
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Park帕克原子力显微镜
由于氮化硅薄膜具有在同等体积下较小的质量和良好的光学性能等特点,被广泛应用于力和质量传感器。通过改变氮化硅表面形貌对石墨烯/氮化硅复合材料性能进行调控,对于石墨烯/氮化硅复合材料器件的设计具有重要的理论和工程价值。近日,江苏大学葛道晗研究团队通过化学气相沉积法和干法刻蚀制备出一种具有一定深度的氮化硅衬底,并采用湿法转移将石墨烯转移到不同形貌的衬底上,得到石墨烯/氮化硅复合材料。...
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