BS EN ISO 14644-2:2015
跟踪更改 洁净室和相关的受控环境 进行监测 通过颗粒浓度提供与空气洁净度相关的洁净室性能证据
Tracked Changes. Cleanrooms and associated controlled environments. Monitoring to provide evidence of cleanroom performance related to air cleanliness by particle concentration
- 标准号
- BS EN ISO 14644-2:2015
- 发布
- 2016年
- 发布单位
- 英国标准学会
- 当前最新
- BS EN ISO 14644-2:2015
- 引用标准
- ISO 14644-12 ISO 14644-1:2015 ISO 14644-3 ISO 14644-4:2001 ISO 21501-4:2007 ISO 31000:2009
- 被代替标准
- BS EN ISO 14644-2:2000
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