GB/T 13387-1992
电子材料晶片参考面长度测量方法

Test method for measuring flat length on slices of electronic materials


GB/T 13387-1992 发布历史

本标准规定了电子材料晶片参考面长度的测量方法。 本标准适用于测量各种直径的硅抛光片、研磨片和切割片的参考面长度。也适用于测量砷化镓、蓝宝石和钆镓石榴石等材料晶片的参考面长度。

GB/T 13387-1992由国家质检总局 CN-GB 发布于 1992-02-19,并于 1992-10-01 实施,于 2010-06-01 废止。

GB/T 13387-1992 在中国标准分类中归属于: H21 金属物理性能试验方法。

GB/T 13387-1992的历代版本如下:

  • 1992年02月19日 GB/T 13387-1992 电子材料晶片参考面长度测量方法
  • 2009年10月30日 GB/T 13387-2009 硅及其他电子材料晶片参考面长度测量方法

GB/T 13387-1992 电子材料晶片参考面长度测量方法 于 2009-10-30 变更为 GB/T 13387-2009 硅及其他电子材料晶片参考面长度测量方法。

GB/T 13387-1992



标准号
GB/T 13387-1992
发布日期
1992年02月19日
实施日期
1992年10月01日
废止日期
2010-06-01
中国标准分类号
H21
国际标准分类号
29.040.30
发布单位
CN-GB
代替标准
GB/T 13387-2009
适用范围
本标准规定了电子材料晶片参考面长度的测量方法。 本标准适用于测量各种直径的硅抛光片、研磨片和切割片的参考面长度。也适用于测量砷化镓、蓝宝石和钆镓石榴石等材料晶片的参考面长度。

GB/T 13387-1992系列标准


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