本标准规定了电子材料晶片参考面长度的测量方法。 本标准适用于测量各种直径的硅抛光片、研磨片和切割片的参考面长度。也适用于测量砷化镓、蓝宝石和钆镓石榴石等材料晶片的参考面长度。
GB/T 13387-1992由国家质检总局 CN-GB 发布于 1992-02-19,并于 1992-10-01 实施,于 2010-06-01 废止。
GB/T 13387-1992 在中国标准分类中归属于: H21 金属物理性能试验方法。
GB/T 13387-1992 电子材料晶片参考面长度测量方法 于 2009-10-30 变更为 GB/T 13387-2009 硅及其他电子材料晶片参考面长度测量方法。
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