GB/T 14139-1993
硅外延片

Silicon epitaxial wafers


标准号
GB/T 14139-1993
发布日期
1993-02-06
实施日期
1993-10-01
废止日期
2010-06-01
中国标准分类号
H26
国际标准分类号
29.040.30
发布单位
CN-GB
代替标准
GB/T 14139-2009
适用范围
本标准规定了硅外延片的产品分类、技术要求、试验方法和检验规则及标志、包装、运输、贮存。 本标准适用于在N型硅抛光片衬底上生长的N型外延层(N/N)和在P型硅抛光片衬底上生长的P型外延层(P/P)的同质硅外延片。产品用于制作半导体器件。

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